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高精度,大口径平面波像差标准—移相式数字平面干涉仪
介绍研制成的一台移相式数字平面干涉仪,其孔径为φ245mm,用液面作基准标定并消除仪器的系统误差,准确度优于λ/50(峰谷值,λ=0.6328μm),利用计算机辅助干......
期刊
移相式
数字平面干涉
平面波像差标准
interferometer
phase shifting technique
optical flat
standar
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